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1、用于PERC太阳能电池和IBC太阳能电池
2、采用皮秒或超短脉宽纳秒激光器
3、开膜图形可自由设定:实线、虚线、圆点等
4、自动化程度高,产能达到3600pcs/h以上
5、采用柔性传输机构,碎片率低于0.5‰
6、标配自动上下料,可靠性高
7、内置除尘装置,节省设备的占地面积
薄膜厚度
加工范围
激光器
UPH
Uptime
MTTR
Yield
≥99.80%,满产率
碎片率
开膜加工宽度
线宽
1、可用于SIOx、ALOx与SINx膜层的消除
2、自动识别破片和未加工硅片
3、具有功率监控装置
用于PERC太阳能电池和IBC太阳能电池